医療、自動車、鉄道etc・・・半導体デバイスは人命に係わる分野にも多く使用されるようになり、デバイスの性能の向上はもちろんの事ながら、それらのデバイスが故障・破壊しない為の信頼性に着目しなければいけない時代になりました。 特に車載デバイスでは昨今のハイブリッド自動車の普及にも重なって、半導体デバイスが大量に使われ、今そのデバイスの信頼性が非常に重要視されています。
今日は、ウエハソートの段階で不良品を自動的に判別し除去する画期的なソフトウェアStreetwise™（ストリートワイズ）の紹介をします。

代表的な信頼性のバスタブカーブに示されるように、初期故障を引き起こす製品は沢山出ています。そして、未だにそれらの故障する不良デバイスを事前に判別して取り除くことは難しいと言われています。
しかし、この初期故障となったデバイスを詳しく調べてみると、 アウトライアと呼ばれる“テストではパスしていたが、他のデバイスとは少し違う特性をしめしていた怪しいデバイス”が見つかりました。

ではこの怪しいデバイスとはどんなデバイスなのでしょうか？

また、面内傾向を見ると、左図のように不良デバイスに囲まれているパスしているデバイスがあります。周囲のデバイスが不良としてフェイルしているのにもかかわらず、一つだけパスしているというのも、怪しいデバイスといえるでしょう。
また、あきらかにステッパ異常による不良と思われるパターン不良があった場合も同様に、そのパターンにあてはまる部分にあるパスデバイスも怪しいデバイスといっても過言ではないでしょう。

Streetwise™は独自のアルゴリズムによってアウトライアを自動的に見つけ出すことができる。しかも見つけたアウトライアをその危険度によって分類する。これにより「捨てるデバイス」、「捨てはしないが再テストをして品質を確かめるデバイス」「完全に良品デバイス」等使い分けることによって、 「高品質」かつ「高歩留まり」を達成することが可能になります。
特に自動車等の高信頼性が求められる車載デバイスでは非常に注目を集めており、自動車メーカー最大手でもあるトヨタ自動車様でも採用され、今日の市場において高度なアウトライア検出と不良率、品質コスト削減を目的とした半導体デバイスの信頼性向上ソリューションとして、今注目を集めています。