信頼性試験用ソフトウェア(HOTEI-MSR)

HOTEIとはHyper Optimized Test Equipment Interfaceの略で、ティアテックで制作する測定システムソフトウェアで、各社の測定器の制御をはじめ、プローバーのコントロールや独自測定アルゴリズムなどを乗せる事が出来る。また、ソフトウェア間の通信も可能となり、FTP/MQ等の通信プロトコルを通してCIMやHOSTサーバーへの測定データ自動アップデートなどが可能となる。このソフトウェアの開発意義は【遊休装置】を稼動させる、と言う事に始まった。測定器はすでに持っている、プローバーはすでに持っている、という環境の中、新しい測定器を追加して新しい測定をしたいが、メーカーに相談をするとすべてを【そのメーカー】の新しい装置で提案され、多額の見積もりが来る。かといって遊休施設を動かすソフトウェアを新規で作るととてもコストが高い、というお客様が多いことに気づき、その悩みを解決するためには【プラットフォームを作り、メーカーを気にせずに簡単にシステム構築】する事だ。それでこのHOTEIが誕生した。今回はその中でもシステム構築の値段が高いとされている【信頼性試験】のプラットフォームを紹介する。
2008年6月

 

信頼性といっても多くの信頼性試験があるが、ティアテックで製作したのは「ウェハーレベルデバイス信頼性試験」の分野だ。ソフトウェアは右のパッケージが一つとなっている。

■TDDB:酸化膜信頼性試験
■CV:酸化膜評価
■NBTI(HCI):トランジスタ信頼性試験
■HSSM:高速サンプリングデバイス劣化試験
■WMT:ウェハーマップツール(プローバ設定)

これらのソフトウェアは標準一式になっているが、HOTEIの良い所はこれらを自由に追加できるところになる。つまり、必要な部分だけを購入、が可能になる。また、上記以外のソフトウェアもカスタムで制作可能だ。

 


上記は難しい事を考えずにセミオートやオートプローバ(ズースマイクロテック社、東京精密社、カスケード社、東京エレクトロン社、ベクターセミコンダクター社等のドライバは標準で装備されている)を動かしたい、そんな時に簡単に利用できる。プログラムを組む前に「ちょいちょい」と動かせるから、ちょっとした実験などのときにも活躍する。

 


テストプランエディターではマルチサイトプローブカード上でどのような測定をするのか、を決定したり、マルチサイトプローブカードのカードファイルを設定したり、デバイスへの接続を確認設定したりとフレキシブルに設定ができる。

 


ウェハーマップツールではウェハーサイズやチップサイズ、測定ポイントやカセットの設定、サブサイトの設定等がいろいろできる。楽しいのは日本語GUI(画面)でクリックするだけで設定がどんどん行える部分だ。

 

一つ一つのソフトウェアをマニュアルのように説明はしないが、簡単に説明をしよう。左のソフトウェアはTDDBの設定画面の一つだ。定電流印加でも定電圧印加でも簡単に切り替えられる。また、デバイスへの接続切り替えも可能としている。

ポイントは【測定器メーカを選ばない】所だ

各社の測定器はそれぞれに良い特徴と癖がある。それを理解したうえでプログラムを組めば以外にも使える測定システムに大変身するのだ。このコツをソフトウェアの中に埋め込んだのがこのHOTEIの嬉しいところである。

HCIやNBTIの測定は右のような画面で行う。このNBTI関連は多くのお客様で利用されてはじめてわかったが、測定に対する考え方が意外に違う。そこで、ティアテックとしては各種の設定が細かく出来るように(基本設定)構築されている。

NBTIはPchに起こる現象だが、NchにおこるPBTI現象にも対応する。これらをさらにDuty比を変える事でDCとACの相関を見ることも可能になる。

複数のセッティングを登録でき、それらを読み込み、面内にて測定条件の違う測定を平行して測定することが可能となる。

 

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