稼働率の低い既存設備の再活用について 【Renovate with Tiatech】

今回は、オートプローバーやセミオートプローバーと測定器をリノベーションする提案をいたします。リノベーションのReは、「再」という意味です。元々、マンションや建築物に対する言葉としてよく使われているようです。もともとあるものに対して改修工事を行い、用途や機能を変更する、使い方を変更するという意味です。利用していないもしくは稼働率が低い、セミオートプローバーやオートプローバーの有効活用を提案いたします。

2009年5月

 

■稼働率の低いオートプローバーは、ありませんか?
御社内で下図のようなオートプローバーが遊んでいませんか?現状の稼働率が低いのであれば別の場所に移し、別の用途でリノベートすることを提案します。弊社のウェハーマップツールは、御社既存の測定器と御社既存プローバーを繋げ、再活用できるソフトウェアです。
TSK TEL
測定機器

オートプローバー向けのウェハーマップツール
左図はTSK社製のUF3000などのUFシリーズやTEL社製のP8、19Sなどのオートプローバー向けのウェハーマップツールです。 このタイプのウェハーマップツールは測定種別を5種類まで選択することができます。下に簡単な機能紹介をします。

WaferStyle

測定対象がウェハーだけとは限りません。このソフトウェアでは測定対象物が選択できます。

IconHomeホームポジションを登録します。
IconMeas測定したいチップを選択します。

 

※セミオートプローバーの場合
オートブローバーは自動的にアライメントをおこなうことができるが一部のセミオートプローバーではアライメント動作が面倒だったり、うまくいかなかったりすることがあります。こういうプローバーに対しては3点の位置情報(左図)を事前に取得しておくことにより、思い通りの場所にコンタクトし測定することができます。

コントロール手順
1.1番目の場所に移動して登録
2.2番目の場所に移動して登録
3.3番目の場所に移動して登録
4.X、Yそれぞれ何チップ分の距離かを登録

 

■まとめ
オートプローバーの例では、御社の遊休資産を再活用するためご提案です。また、セミオートプローバーの例は測定器を制御するだけではなくちょとした工夫で既存のプローバーを有効活用した例です。弊社ではお客様の環境に合わせたリノベーションの提案を行っています。

 


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