KEITHLEY社の4200-SCSは、微小電流測定を測定できる優れた測定器です。この測定器はWindowsベースで動作しており、GPIBを経由していろいろなプローバーを制御して、測定データを取得することができます。利用していないセミオートプローバーやオートプローバーをお持ちの場合4200ＳＣＳと組み合わせることにより設備の有効活用ができます。

測定チップを削除します。
測定したいチップをランダムで選択します。
チップではない箇所を編集します。
ウェハーマップのイメージを保存します。

■セミオートプローバーの場合
オートブローバーは自動的にアライメントをおこなうことができるが一部のセミオートプローバーではアライメント動作が面倒だったり、うまくいかなかったりすることがあります。こういうプローバーに対しては3点の位置情報（左図）を事前に取得しておくことにより、思い通りの場所にコンタクトし測定することができます。

コントロール手順
１．1番目の場所に移動して登録
２．2番目の場所に移動して登録
３．3番目の場所に移動して登録
４．X、Yそれぞれ何チップ分の距離かを登録

■まとめ
上記のセミオートプローバーの例は測定器を制御するだけではなくちょとした工夫で既存のプローバーを有効活用した例です。弊社ではお客様の環境に合わせたソフトウェアの制作、提案を行っています。