プローブカードの品質が歩留りに大きな影響

ウェハー検査でデバイスの良否を判断するのはICテスター。しかし、良品を不良品としてしまうのはプローブカード。では、プローブカードを良品として判断するものは?

2008年7月

 

プローブカードの信頼性を証明する
プローブカードアナライザー
ProBiltシリーズ

ProBiltシリーズは、高密度(多ピン12000ピン)、大口径(300mm、256Chipマルチコンタクト)、高性能(基板上の回路配線等)のプローブカードの検査が容易に行うことできる、人間工学に基づいたデザイン、高精度、省スペースのプローブカードアナライザーです。

ProBilt
テスト項目
・プローブ位置精度/Aligment
・プローブ平坦度/Planarity
・針跡解析/Scrub Analysis
・先端径/Tip Diamter
・チップ深さ/Tip Depth
・接触抵抗/Contact Resistance
・リーク電流/Leakage
・ODリーク/Over Drive Leakage
・コンデンサリーク/Capacitor Leakage
・ワイヤチェック/Wire Check
・キャパシタンス/Capacitance
・抵抗値/ Resistance
・リレー/Relays
・針圧/Gram Force
・高温テスト/Hot Chuck(オプション)

プローブカードって?

プローブカードは、ウェハープロセスラインでの最終工程、即ちウェハー検査工程において、ウェハー上に形成されたIC(Chip)を電気的に検査するために用いられるコンタクト治具です。 IC内にあるボンディングパットとIC測定器とを電気的に接続し良否を判定するためのものです。 また今日では、ICの高密度化、高性能化が更に進み、ボンディングパットピッチが30μm以下の製品、そしてマルチ測定(256Chipマルチ)とICと同様に高密度化、高性能化、大口径化(300mm一括コンタクト)と要求が高まる一方です。 したがって、プローブカードの性能によってはIC製造の歩留りに大きく影響を及ぼすだけに、その重要性は高く、プローブカードの信頼性は強く求められております。

 

ProBiltの役目

ウェハー検査工程においては、プローブカードの依存度かなり高いものとなっております。 メモリーIC検査用プローブカードは、300mm、256chipマルチサイト、一括コンタクト仕様となっており、価格も1枚当り数千万円という価格です。約12,000ピンものプローブ針が形成されており、1ピンでもコンタクト不良があれば、即歩留りに影響を及ぼします。 また、ドライバーIC検査用プローブカードは、1chip当り同一列上に20μmピッチで600ピン程のプローブ針が並びます。これを4chip(2X2)マルチ プローブカードとなると、3,000ピン近いプローブカードとなります。 こうした条件のプローブカードを、どのように管理していくのか、信頼性をどう保てるのか等、要求を満たすのがプローブカードアナライザーの役目です。

 

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