今回は6ポジショナを持つdProberを使用したナノレベルでのケルビンプロービングに関してご紹介します。

そこで、測定プローブの接触抵抗等の測定系の寄生抵抗の影響を排除するために、ケルビンプロービングという手法のプロービングを行うことがあります。
これは、左図のように電流印加端子と電圧測定端子とを分離することによって正確に電圧が何ボルトに達しているかを見る手法です。