極細タングステンプローブ

極細タングステンプローブ Zyvex NanoEffector Probes

Zyvexでは、今まで紹介してきたナノプロービングシステムで使用するための極細プローブも、自社工場で作成しています。今日はナノスケールでのプロービング用に開発された極細タングステンプローブZyvex NanoEffector Probesを紹介します。

2008年8月

sProberを使用して65nmトランジスタへプロービングしているNanoEffector Probes（タングステンプローブ）

特許出願中のZyvex NanoEffector Probesは、電気化学的にエッチングされた0.25㎜のタングステン多結晶ワイヤーで、ICのプロービングや、ナノスケールでの電気／機械システムの研究開発に使用されています。
実は、ナノスケールでのプロービングには２つの大きな問題があります。それは小さな面（50nmコンタクト）へのプロービングと、狭い配列（パッド間が100nm内で4つの50nmコンタクト）でのプロービング。
ZyvexのNanoEffectorProbesはこれら２つの問題を解消できるよう設計されております。
プローブ先端半径は50nm以下で、非常に小さな面へのプロービングが可能。さらに高アスペクト比を持っており、直径500nmのワークスペース内で8プローブでのプロービング作業が可能です。

この極細タングステンプローブはZyvexのナノプロービングシステムを使う事によって、下記のような様々なアプリケーションで活用することが可能です。

電気／機械システムの研究開発
ナノ構造の電気的特性評価
IC故障解析の電気的特性評価
マイクロ及びナノアセンブリ
ナノマニュピレーション
表面科学実験

工夫すれば、その他アプリケーションへの活用も可能なので、何か新しいアプリケーションで活用したい場合は一度ご相談ください。

ゲルマニウムをNanoEffector Probesを使用して4ポイント電気特性評価をしている図

NanoEffector Probeがコイル状のカーボンナノチューブを移動させている図

標準仕様
材質長さ軸の直径有効先端半径平均先端半径有効テーパー角度平均テーパー角度タングステン純度	：タングステン多結晶ワイヤー：14nm ：0.25mm ：50nm以下：40nm ：15度以下：8度：99.9％

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