KEITHLEY社製4200-SCSパラメータアナライザを軸としたシステムの数々

ティアテックでは今まで色々なシステムを構築してきたが、その中でも多くのシステムを組んだ経験のある4200-SCSパラメータアナライザを軸としたシステムを紹介する。当時KarlSuss社(現Suss Microtec社)とも多くシステムを共に構築し、マニアックな要望にも応えてきた。その中でも特徴のある数種類のシステムを今回は紹介しよう。
2008年8月

 

もっともスタンダードなシステムが右の写真にあるようなシステムだ。4200SCSを中央ラックの真ん中に配置し、その上にパルスジェネレータとCV測定器(Quasi-CVと通常のCV)そして、それらを切り替えて使う為のスイッチマトリクスがラックの一番下に搭載され、入力を紹介した全ての計器、出力をラック左にあるセミオートプローバのポジショナーやプローブカードへ接続する。
※2008年現在では4200SCS内部へパルスジェネレータ
  とCV測定器が内蔵されるオプションがあります。

計器類とプローバ(モーション制御と温度制御)の全ての機能はティアテック制作のソフトウェアがコントロールし、CV-IV測定をはじめ、TDDBやHCI等の信頼性ソフトウェア、更にはパルスを利用したPulse-TDDB(DCとACの相関比較用)やチャージポンピング測定なども用意した。

プローバの温度は-60度〜200度まで対応しており、実際の測定データはこのようになっている。10fA近辺まで良く測定できているのが分かる。

 

 

このシステムは特徴がすごい。メモリー解析用システムとして構築されたこのシステムは
■300mmセミオートプローバ
■DC測定器(最大40ピンプローブカード対応)
■レーザーカッター
■エミッション顕微鏡
■温度制御(-60度〜300度)
というワンストップシステムになる。

故障箇所を特定する為のエミッション顕微鏡、そして配線を任意に切断(1um以下)するレーザーカッター、そしてDCを印加したり、測定をして微小電流までも測れる装置だ。

このようなシステム構築はお客様の要望を聞いて、できる限り要望にあった提案をしたうえでのシステムになる。

 


上の写真のシステムはとても標準的なシステム構成になり、プローバとDCパラメータアナライザを組み合わせ、全ての制御を4200内蔵PC(Windows)より行うというシステムである。

 

左のシステムはKEITHLEY4200を既に所有のお客様から「システム構築をしてもらいたい」という要望に応え、構築したハイパワーDC測定システムになる。最大1100Vまでの測定と110MHzまでの高周波CV測定がKeyになる。


上の写真は周波数固定CV測定器と4200を組み合わせ、スイッチで切り替えながら測定を行うシステムになる。温度制御はやはり-60度〜300度までの200mmタイプになる

 


日本ではあまり日の目を浴びていないが、米国では活躍しているEGプローバとKEITHLEY社製のパラメトリックテスターS600シリーズのシステムやソフトも担当した

 


一歩間違えると測定に大きく誤差を生じる部分がケーブル配線プラン。これはシステム構築の際のKeyポイントの一つである。

 


プローブカードの取り付け部分、これもとても気を使う部分の一つだ。DUT(デバイス)から出てくる信号とのインターフェイスになる為、間違えればノイズなどに多く悩まされる。

 

ティアテックではその他にも数え切れない程のシステムを構築してきた。UF3000等のオートプローバやTEL-19S等のちょっと古いタイプのオートプローバの改造、修理、システム構築等を担当してきた為に色々な技術、ノウハウを持っている。ケーブル一本から改造を行っているので気軽にお問い合わせをもらいたい。

 

お問い合わせ・資料請求フォーム
 
・会社名
・部署名
・担当者名
・電話番号
・E-mail
・住所  
・問合せ内容
 

 

Mainページに戻ります