右のシステムはモニタ型バーンイン装置でオイル型を採用したものだ。本来「水冷」と呼ばれるものになるが、「オイル」を使うことにより、より効率の良い熱交換が可能となる。
ラックがドローワー(引き出し)型になっており、測定デバイスを個々のドローワーの中に設定し、試験を開始する。これはレーザーダイオードのようなデバイスに適しており、中でレーザーダイオードの試験をしながら、温度の制御をしている。
液体にもいろいろな種類がある。ウェハーチャックなどでよく利用されている【ガルデン】もその一つだが、廃液問題や毒性問題などが指摘されている(ガルデンは種類にも夜が、一定温度以上に達すると気化し、気化された空気は毒性が高い)。そこでこのシステムでは問題点が少ないシリコンオイルを利用することで制御しているのである。
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